气相沉积炉日常使用方法有哪些呢　　气相沉积炉主要用于半导体元器件及电力整流装置的烧结工艺，可进行真空烧结、气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中新颖的技术装备，设计思路新颖，操作方便，结构紧凑，一台设备即可完成多个工艺流程。也可用于其他领域的真空热处理、真空钎焊等工艺，那么下面一起了解下炉子的使用必备技巧吧!　　气相沉积炉在抽真空后氢气保护的情况下，利用中频感应加热原理，使位于盘管内的钨坩埚达到高温，通过热辐射传导到工作中，适用于科研、军工部门对钨、钼及其合金粉末进行成型烧结。安装炉子的场地应符合真空卫生要求，周围空气清洁干燥，通风条件好，工作场所不易扬起灰尘等。它的日常使用方法：　　1、检查控制柜内所有零部件及部件是否完好、完好。　　2、控制柜安装固定在相应的基础上。　　3、查看接线图，参考电路图，连接外接主回路和控制回路，可靠接地，保证接线无误。　　4、检查电器活动部位活动自如，无卡死现象。　　5、绝缘电阻不应小于2万亿欧姆。　　6、气相沉积炉各阀门必须在关闭位置。　　7、控制电源开关置于断开位置。　　8、手动调压旋钮逆时针转动头。　　9、将报警按钮置于打开位置。　　10、平面图完成设备循环冷却水连接时，建议用户在气相沉积炉总进出水管处再加一层备用水(可用自来水)，防止循环水故障或断电引起密封圈燃烧。

　　真空气氛烧结炉温度不达标的处理方法　　真空气氛烧结炉在高温实验中，温度不能达到实验温度值，可对电气系统进行校准，于一些常见的常压炉，假定温度上升非常缓慢，则需求检查空气循环系统，检查空气循环调度风门是否正确翻开，反之亦然，并检查空气循环电机是否正常作业。　　当设备在查验作业中遽然产生缺陷时，操控表面上会出现相应的缺陷闪现提示和动态报警提示。操作员可以根据“设备操作和运用中的缺陷打扫”一章快速检查缺陷归于哪种类型，然后请技术人员快速打扫缺陷，以保证查验的正常作业。其他环境实验设备在运用中会有其他现象，因此有必要剖析和消除特定现象。　　假定设备的低温不能抵达查验政策，查询温度改动，温度下降非常缓慢仍是在抵达必定值后趋于上升。前者应该连续。真空气氛炉是否在低温实验前单调作业室，并在实验后坚持作业室单调。假定作业室中的查验样本太多，作业室中的风就无法完全活动。　　真空气氛烧结炉常见的故障现象及解决方案，如下：　　故障一：真空度低　　原因：泵油污染、太少或太稀。　　解决方案：清洁真空泵并更换新的真空泵。　　故障二：抽气时间太短　　解决方案：延长抽气时间。　　故障三：排气滤清器堵塞　　清洁或更换排气滤清器。　　故障四：漏气：　　排空后关闭电源，检查电磁阀、管接头、真空泵吸入阀、工作室周围密封垫是否漏气。　　故障五：噪音大　　真空泵联轴器磨损或损坏，应更换。　　故障六：排气滤清器堵塞或安装不正确　　清洁或更换排气滤清器并正确安装。　　故障七：真空泵注油　　吸入阀的O形圈脱落，拔出泵喷嘴上的真空管，拆下吸入喷嘴，取出压缩弹簧和吸入阀，轻轻拉伸O形圈几次，重新插入凹槽，然后安装。