气相沉积炉计算机控制系统要如何使用呢?今天，立博app官网(中国)集团公司就来跟大家简单的说一说使用方法及注意事项。 　　首先，气相沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，这些都是处立博app官网件的核心的部分。而为混气罐，由1只电动蝶阀、2只浮子流量计和4只不锈钢手动截止阀这三部分七小块组成，负责氩气和丙烷的混气配比，以及向沉积炉内定量输送工作气体。 　　其次，沉积炉还具有2台滑阀泵，注意是负责气相沉积炉内的空气及工作废气的排除等，这使得炉子可以工作在恒定的压力范围之内。2台过滤罐，主要是负责滑阀泵前级的粉尘排除。 　　另外，气相沉积炉计算机控制系统还有3台加热磁性调压器，他们独立工作，完成炉温的控制。

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